產(chǎn)品目錄 / Product catalog
一、前言
近幾年來,隨著高科技的發(fā)展,薄膜技術(shù)已成為一門綜合性的應(yīng)用科學(xué)。本文介紹了制備薄膜的液相法——浸漬法的原理。
在這個高度信息化的社會,各種技術(shù)當(dāng)中薄膜技術(shù)發(fā)揮著非常重要的作用。
二、分類
形成薄膜的技術(shù)通常分為兩類,一類是氣相法,另一類是液相法。
1、氣相法
氣相法雖能生成均一且致密的薄膜,但是由于使用真空裝置,所以設(shè)備成本昂貴。而液相法非常簡便,所以近些年,在金屬、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
2、液相法
液相法作為一個廉價、節(jié)能的新型薄膜形成技術(shù)備受青睞。液相法根據(jù)涂布方法分為旋涂法(spin coating)浸漬法(dip coating)和噴涂法(spray coating)等。
① 旋涂法是在高速旋轉(zhuǎn)的基板上滴下被涂液,根據(jù)向心力形成均勻薄膜的方法。它通過基板旋轉(zhuǎn)數(shù)與涂布液的濃度控制薄膜的厚度,但是很難實現(xiàn)在大面積基板上的涂布。
② 噴涂法是將涂布液噴在基板上,它可以進行連續(xù)涂布,但是不容易做到涂敷均勻。
③ 和這些方法比較,浸漬法是將基板浸漬在涂布液中,然后以一定的速度將其提拉使其表面上形成薄膜的方法,此法非常簡便,而且根據(jù)涂布液粘度及提拉速度來控制薄膜厚度,從而解決了上述方法中不能大面積均勻涂布的問題。
三、原理
浸漬法是指如下圖所示,將基板浸漬在涂布液中,以一定的速度向上提拉,然后將附著在基板上的液膜干燥使其成膜的方法上。
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